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影响钨灯丝扫描电镜性能之电子光学合轴-凯发k8官方网站

发布时间:2021-05-14

  影响钨灯丝扫描电镜性能之电子光学合轴:


  钨灯丝扫描电镜的电子光学系统由电子枪、聚光镜、物镜以及物镜光阑等组合而成。电子枪发射的电子一定要沿着这些部件的中心轴线穿过,因此要调整这些部件同轴,调整同轴的过程称之为合轴,合轴也称之为对中。合轴后图像亮度最亮,像差最小,分辨率最高,合轴是束流稳定的一个关键因素其中之一。合轴主要包含电子枪合轴还有光阑合轴。


  替换灯丝与在灯丝使用过程当中,电子枪灯丝发射的电子要和聚光镜还有物镜的光轴对中调节,称之为镜筒合轴,或者称之为电子枪合轴。电子枪合轴能够进行机械调节还有自动合轴。合轴是通过电子源的倾斜校正还有水平校正进行调节,让灯丝发射的电子和聚光镜以及物镜的光轴重合,合轴后图像的亮度最高。


  不同型号的钨灯丝扫描电镜的物镜光阑孔径的数量也不一样。要得到高分辨率图像还有稳定的束流,在物镜光阑交换以及光阑清洗之后,需要重新调整物镜光阑孔径的位置,让物镜光阑孔径位置在物镜极靴的中心,这种调节过程称之为物镜光阑合轴。物镜光阑合轴后,电子束通过物镜与光阑的中心。光阑位置有偏离的时候,图像的像差会变大,没有办法得到高分辨率的图像,束流也不稳固。


  光阑合轴是通过光阑的x,y方向移动旋钮进行调节,调节之后通过图像聚焦,来观察图像是不是有移动,假如是高倍(比方说10000x)图像在聚焦过程当中不发生图像移动,并且束流最大,表示光阑合轴良好。能够通过选定sem的wobbler按钮,观察图像的摆动大小,随之进行x,y方向移动调节,让图像没有办法移动表示合轴良好。





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